閔行石墨盤專用真空烤盤爐，可靠的石墨盤專用真空烤盤爐，合肥真萍電子傾力推薦， 合肥真萍電子科技有限公司坐落于宿松路與清華路啟迪科技城創客空間A棟1006-1007室，于2010-04-14創辦，自成立以來就致力于石墨盤專用真空烤盤爐的生產與經營銷售。公司擁有一大批可靠技術人才，充分滿足廣大需求群體對產品的需求，為客戶供應市場上好的石墨盤專用真空烤盤爐。

閔行石墨盤專用真空烤盤爐，.產品介紹 真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體，爐內抽真空，被處理工件放置在爐膛內，采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質量的目的。 二、設計特點 1、后門設計熱風電機 2、降溫時風機開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內產生如圖所示的氣體流向 3、通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換，達到快速降溫的目的 三、技術指標 1、使用溫度：1450℃；最高溫度：1500℃； 2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙； 4、加熱元件：石墨加熱棒； 5、冷卻方式：氣冷 + 循環風冷降溫； 6、控溫穩定度：±2℃，具有PID參數自整定功能； 7、爐膛溫度均勻度：±5℃（恒溫1500℃）； 8、氣氛: 可向爐膛內通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%； 9、真空: 10-3torr級； 10、抽氣速率：空載下，30min達到10-2torr 11、升溫功率：170kW； 12、升溫速率：15℃/min（空載）； 13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘 14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高） *技術細節變動之處，恕不另行通知，具體設備參數以咨詢結果為準。

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