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閔行石墨盤專用真空烤盤爐-口碑好的石墨盤專用真空烤盤爐供銷

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【產(chǎn)品詳情】閔行石墨盤專用真空烤盤爐-口碑好的石墨盤

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閔行石墨盤專用真空烤盤爐,.產(chǎn)品介紹 真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。 二、設(shè)計(jì)特點(diǎn) 1、后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī) 2、降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開啟,同時(shí)兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向 3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換,達(dá)到快速降溫的目的 三、技術(shù)指標(biāo) 1、使用溫度:1450℃;最高溫度:1500℃; 2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙; 4、加熱元件:石墨加熱棒; 5、冷卻方式:氣冷 + 循環(huán)風(fēng)冷降溫; 6、控溫穩(wěn)定度:±2℃,具有PID參數(shù)自整定功能; 7、爐膛溫度均勻度:±5℃(恒溫1500℃); 8、氣氛: 可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%; 9、真空: 10-3torr級(jí); 10、抽氣速率:空載下,30min達(dá)到10-2torr 11、升溫功率:170kW; 12、升溫速率:15℃/min(空載); 13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘 14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高) *技術(shù)細(xì)節(jié)變動(dòng)之處,恕不另行通知,具體設(shè)備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準(zhǔn)。

本公司始終支持職工創(chuàng)新,創(chuàng)新技術(shù)、創(chuàng)新管理、創(chuàng)新環(huán)境、創(chuàng)新制度。石墨盤專用真空烤盤爐符合創(chuàng)新精神,與時(shí)俱進(jìn),適應(yīng)用戶多變的需求。對(duì)于想要購買本公司產(chǎn)品客戶可通過在線支付;現(xiàn)金支付;銀行轉(zhuǎn)賬;貨到付款的支付方式支付交易,我們會(huì)在雙方協(xié)商的時(shí)間為您發(fā)送產(chǎn)品,同時(shí)我們還將為您提供產(chǎn)品售出后質(zhì)保一年的售后服務(wù)。

合肥真萍電子科技有限公司自成立伊始,就致力于打造屬于公司的自有。在電熱設(shè)備行業(yè)中不斷創(chuàng)新,融合的技術(shù),創(chuàng)意新穎的理念,生產(chǎn)高品質(zhì)的石墨盤專用真空烤盤爐。石墨盤專用真空烤盤爐于北京;上海;天津;重慶;山東;河北;海南;安徽;吉林;廣東,獲得廣泛、穩(wěn)定的產(chǎn)品市場(chǎng)。

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