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長寧石墨盤專用真空烤盤爐_性價(jià)比高的石墨盤專用真空烤盤爐供應(yīng)信息

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【產(chǎn)品詳情】長寧石墨盤專用真空烤盤爐_性價(jià)比高的石墨

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長寧石墨盤專用真空烤盤爐,.產(chǎn)品介紹 真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。 二、設(shè)計(jì)特點(diǎn) 1、后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī) 2、降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開啟,同時(shí)兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向 3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換,達(dá)到快速降溫的目的 三、技術(shù)指標(biāo) 1、使用溫度:1450℃;最高溫度:1500℃; 2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙; 4、加熱元件:石墨加熱棒; 5、冷卻方式:氣冷 + 循環(huán)風(fēng)冷降溫; 6、控溫穩(wěn)定度:±2℃,具有PID參數(shù)自整定功能; 7、爐膛溫度均勻度:±5℃(恒溫1500℃); 8、氣氛: 可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%; 9、真空: 10-3torr級(jí); 10、抽氣速率:空載下,30min達(dá)到10-2torr 11、升溫功率:170kW; 12、升溫速率:15℃/min(空載); 13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘 14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高) *技術(shù)細(xì)節(jié)變動(dòng)之處,恕不另行通知,具體設(shè)備參數(shù)以咨詢結(jié)果為準(zhǔn)。

多年的持續(xù)發(fā)展,合肥真萍電子的規(guī)模不斷發(fā)展壯大。我司供有完善的銷售和售后團(tuán)隊(duì)的服務(wù),已在需求群體中取得用戶廣泛的支持。公司注重產(chǎn)品質(zhì)量,以及提供完善細(xì)致的服務(wù),對(duì)于公司售出的石墨盤專用真空烤盤爐,公司不僅會(huì)在雙方協(xié)商的時(shí)間內(nèi)準(zhǔn)時(shí)發(fā)貨,并且還提供產(chǎn)品售出后質(zhì)保一年的售后服務(wù)。

合肥真萍電子以生產(chǎn)石墨盤專用真空烤盤爐為主營方向,產(chǎn)品很好的詮釋其加熱的用途,主要銷售往北京;上海;天津;重慶;山東;河北;海南;安徽;吉林;廣東等地區(qū)。依靠完善、機(jī)制健全、不斷強(qiáng)化的服務(wù)理念,為了方便廣大需求群體,我司盡心盡力提供完善的售后服務(wù),也因此受到需求客戶一致的好評(píng)與贊譽(yù)。

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