LED光源、鹵素燈(光纖光源)、高頻熒光燈。目前LED光源較為常用，主要有如下幾個特點： 1.可制成各種形狀、尺寸及各種照射角度； 2.可根據需要制成各種顏色，并可以隨時調節亮度； 3.通過散熱裝置，散熱效果更好，光亮度更穩定； 4.使用壽命長，反應快捷，可在10微秒或更短的時間內達到更大亮度； 5.電源帶有外觸發，可以通過計算機控制，起動速度快，可以用作頻閃燈； 6.運行成本低、壽命長的LED，會在綜合成本和性能方面體現出更大的優勢； 7.可根據客戶的需要，進行特殊設計。 尺寸測量光源按形狀通常可分為以下幾類： 1、環形光源提供不同照射角度、不同顏色組合，更能突出物體的三維信息，高密度LED陣列，高亮度;多種緊湊設計，節省安裝空間;解決對角照射陰影問題；可選配漫射板導光，光線均勻擴散。應用領域:PCB基板檢測，IC元件檢測，顯微鏡照明，液晶校正，塑膠容器檢測，集成電路印字檢查。 2、背光源用高密度LED陣列面提供高亮的背光照明，能突出物體。的外形輪廓特征，尤其適合作為顯微鏡的載物臺。紅白兩用背光源、紅藍多用背光源，能調配出不同顏色，滿足不同被測物多色要求。應用領域:機械零件尺寸的測量，電子元件、IC的外型檢測，膠片污點檢測，透明物體劃痕檢測等。 3、條形光源是較大方形結構被測物的優選光源;顏色可根據需求搭配，自由組合;照射角度與安裝隨意可調。應用領域:金屬表面檢查，圖像掃描，表面裂縫檢測，LCD面板檢測等。 4、同軸光源同軸光源可以消除物體表面不平整引起的陰影，從而減少干擾；部分采用分光鏡設計，減少光損失，提高成像清晰度，均勻照射物體表面。應用領域:系列光源最適宜用于反射度極高的物體，如金屬、玻璃、膠片、晶片等表面的劃傷檢測，芯片和硅晶片的破損檢測，Mark點定位，包裝條碼識別。 5、AOI專用光源不同角度的三色光照明，照射凸顯焊錫三維信息;外加漫射板導光，減少反光;不同角度組合;應用領域:用于電路板焊錫檢測。 6、球積分光源具有積分效果的半球面內壁，均勻反射從底部360度發射出的光線，使整個圖像的照度十分均勻。應用領域:合于曲面，表面凹凸，弧形表面檢測，或金屬、玻璃表面反光較強的物體表面檢測。