自動管式爐廠商 合肥自動管式爐 自動管式爐價格 真萍科技 一、設(shè)備名稱、型號： 12寸晶圓自動管式爐 二、系統(tǒng)組成2.1FAB上下料 2個上下料口(并列) FOUP ID 識別 Wafer位置識別 操作啟動開關(guān)2.2晶元輸送2.2.1FBA開蓋 FOUP固定,解鎖,取蓋2.2.2晶元輸送機械手 雙臂式傳輸 高純度AL2O3托盤 按規(guī)劃路徑將晶元從FOUP傳送至爐體裝 料腔中2.2.3爐體開蓋?將爐體裝料腔腔門打開2.3爐體(熱處理)2.3.1加熱腔 外部采用不銹鋼外套,中部采用FEC加熱器和相應(yīng)保溫材料,內(nèi)部為石英爐管 多層環(huán)形加熱器,有效使用高度 > 1000mm 底部通入工藝氣氛,O2和N2可編程選擇 煙氣冷凝回收 底部具有自保護蓋體功能 高溫焦油裂解功能 降溫方式：鼓風(fēng)機將空氣吹入爐管與加熱器之間的夾腔，強制風(fēng)冷降溫。 多路多層環(huán)形進氣,保證爐膛的冷卻可控2.3.2裝料腔 石英支架,處理量為100PCS 12inch晶圓 升降采用移動式滑臺機構(gòu)（無桿電缸）,2.4控制柜2.4.1氣源箱?對于空氣,O2,N2進行邏輯控制?調(diào)節(jié)各路進氣的流量2.4.2電源箱?動力配電?儀器儀表放置?氧含量分析系統(tǒng)可選2.5控制系統(tǒng)?人機界面采用觸摸屏方式?核心控制器采用嵌入式控制器?超溫保護為獨立檢測器件?具有氧含量檢測功能?運動控制為伺服/步進控制單元?傳輸為專業(yè)晶元傳輸機器人?軟件具有功能:溫度控制,氣氛控制,工藝編輯,數(shù)據(jù)記錄,圖表顯示.三、基本配置3.1處理產(chǎn)品:12inch 晶圓3.2處理量:90PCS/管，共180PCS 3.3加熱器:圓形FEC加熱板3.4加熱區(qū)域:>1000mm 3.5外形尺寸: 本體:2500×3500×3500(W×D×H) 控制柜:800×600×2200(W×D×H) 3.6上料口:2 3.7機械手:1四、技術(shù)指標4.1長期使用溫度: 350℃，相當高溫度：750℃；4.2升溫速率:>30℃/min 4.3降溫速率:>5℃/min 4.4加熱功率：36kW(單爐)；4.5加熱溫區(qū): 3個；4.6爐溫均勻性: ±7℃（350℃恒溫）；4.7程序控制：P.I.D控制；4.8溫度控制方式: SSR 4.9控溫?zé)崤? K分度；4.10氣氛: N2/O2；4.11爐膛材料：石英玻璃；4.12保溫材料：陶瓷纖維；4.13氣氛控制：多路流量計調(diào)節(jié)